简要描述：DIAVAC大亚真空DPA 系列节能型油扩散泵
■ 节能泵（内置加热器），与传统型号（DPF 系列）相比，能耗降低 40% ■ 轻巧紧凑的设计，重量比传统型号减轻一半 ■ 使用可更换的内置加热器 ■ 启动时间比传统产品（DPF 系列）缩短一半 ■ 通过兼作喷射器的喷射器，显著提高了临界背压。

DIAVAC大亚真空DPA 系列节能型油扩散泵
DIAVAC大亚真空DPA 系列节能型油扩散泵

DPA 系列是DPF 老款升级换代内热式节能扩散泵，日系大型镀膜、真空热处理主力高真空主泵；无旋转运动部件、抽速大、运行稳定；不能独立启动，必须搭配前级机械泵（PZ/GHP/KRP），前端标配 HV 系列挡板阀（自带挡油结构），和你整套 DIAVAC 阀门、3DA 真空计**配套。

核心产品特点

1. 内热式加热器，功耗相比传统 DPF 降低约 40%，节能优势明显；

2. 整机轻量化，重量仅旧款 DPF 的 1/2；启动升温时间缩短一半；

3. 加热器可单独更换，标配热电偶油温监测；维护便捷；

4. 喷嘴集成喷射效应，临界背压更高，对前级压力波动容忍度更好；

5. 标配水冷夹套，搭配百叶挡油挡板，抑制扩散泵油返流腔体；

6. 法兰为日系VG 标准法兰（固定螺栓法兰）。

一、全型号核心参数表（50Hz、带标准百叶挡板工况）

表格

重要说明：不带挡板抽速显著提升，但油返流大幅增加；镀膜工艺必须加装原厂百叶挡板。

二、通用基础规格

1. 适用真空区间：1×10⁻¹ Pa ～ 1×10⁻⁵ Pa（高真空区间）

2. 冷却方式：强制水冷，进水温度建议＜25℃，禁止断水运行；

3. 工作介质：DIAVAC 专用扩散泵油（A 油、F 系列硅油可选）

• A 油：通用镀膜；

• F 硅油：耐热、抑制裂解，适合高温热处理；

4. 启动条件：腔体预抽压力达到≤0.1 Pa方可开启加热；依靠 PC-3DA/CT-3DA 真空计做压力联锁；

5. 标配配件：内置百叶挡油挡板、热电偶温度传感器；

6. 可选配件：液氮冷阱、油雾捕集器、温度过热切断开关、VG 转 KF 异径转接法兰。

四、运用场景

1. 光学镀膜、电子束蒸发、电阻蒸发设备（*主流）

镜片增透膜、装饰膜、光学多层膜；日系蒸发机原厂标配泵；HV 挡板阀配合抑制油返流，减少膜层针孔缺陷。

2. 磁控溅射、中小型连续卷绕镀膜设备

大抽速快速达到工艺高真空；适合批量薄膜生产。

3. 真空热处理炉、真空钎焊、真空溶解炉

去除工件内部气体、水汽；搭配 KRP+DMB 罗茨机组快速粗抽，DPA 维持工艺高真空。

4. 科研大型高真空腔体、样品蒸镀实验平台

长期连续稳定高真空供给，性价比优于分子泵大系统。

5. 真空浸渍、特种材料脱气装置

需要稳定 10⁻⁴Pa 级别高真空工况。