简要描述：DIAVAC大亚真空DPF水冷式油扩散泵
锅炉部分采用多级结构，通过分馏低蒸汽压油，可轻松实现高真空。 ■ 采用喷射能力增强的喷嘴，可实现高排气速度 ■ 喷嘴采用组装式设计。只需松开顶部喷嘴上的螺栓和螺母，即可将其wan全拆卸，方便清洗各级喷嘴。 ■ 加热器更换 简便。

DIAVAC大亚真空DPF水冷式油扩散泵
DIAVAC大亚真空DPF水冷式油扩散泵

DPF-Z 是传统外置锅炉加热型水冷扩散泵，属于 DPA 系列上代经典机型；日系老款蒸发镀膜、科研真空设备标配；市面大量存量设备备件替换**。

核心区分：

• DPF-Z：外置加热套、功耗高、机身厚重、升温慢；存量老设备主力

• DPA-R：内热式节能新款，功耗降低约 40%、轻量化、启动更快，新机优先选型

一、产品通用特点

1. 多级喷嘴分馏结构，搭配专用扩散泵油可稳定获得高真空；

2. 喷嘴组件可拆卸，便于拆解清洗积碳、油污，维护友好；

3. 外置环绕式加热器，加热包包裹泵底部锅炉；

4. 标配水冷夹套，必须持续通水冷却；可加装水冷百叶挡油挡板；

5. 法兰为日式VG 标准螺栓法兰；

6. 无旋转运动部件，连续运行稳定、振动极低。

二、全型号核心参数总表（50Hz，标配水冷挡板工况）

表格

通用性能指标

1. 极限真空

• A 类矿物油（NeoVac SY / 獅子 S 油）：带挡板 7.5×10⁻⁵ Pa

• B 类硅油（F-5）：带挡板可达 1×10⁻⁶ Pa，耐裂解、适合高温工况

2. 全负荷临界背压：15～20 Pa

3. 油返流速率：无挡板≈10⁻² mg/cm²・min；加装水冷挡板降至≈10⁻⁴ mg/cm²・min

4. 适用真空区间：1×10⁻¹ Pa ～ 1×10⁻⁵ Pa

5. 电源标准：AC200V 单相 / 三相（日系原厂规格）

三、可用工作介质（扩散泵油）

1. 标准矿物油 SY / 狮子 S：通用光学蒸发、电阻蒸发镀膜，性价比*高

2. 硅油 F-5：耐热、不易裂解；真空热处理、长时间连续运行工况

严禁混用不同型号扩散泵油

四、可选配件

1. 水冷百叶挡油挡板（工艺镀膜必选，抑制油返流污染腔体）

2. 温度过热保护开关

3. VG→KF 异径转接法兰

4. 液氮冷阱（进一步降低返流、提升真空度）

5. 备用外置加热包

五、运用场景

1. 老旧日系光学蒸发、电子束蒸发镀膜设备【*主流】

大量存量进口镀膜机原配泵；设备维修、备件替换** DPF-Z；搭配 HV 挡板阀减少膜层针孔缺陷。

2. 科研实验室高真空腔体、电子束焊接、表面分析装置

小型至中型科研真空台，长期稳定高真空供给。

3. 老式真空热处理炉、真空钎焊炉改造项目

原有真空系统为 DPF 系列，原位替换无需改动管路法兰。

4. 小型真空蒸馏、特种材料脱气装置

需要持续稳定 10⁻⁴Pa 区间高真空工况。