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| 品牌 | DIAVAC/大亚真空 | 供货周期 | 一周 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 电子/电池,航空航天,汽车及零部件,电气,半导体 |
DIAVAC大亚真空DPF 强制空冷式油扩散泵
DIAVAC大亚真空DPF 强制空冷式油扩散泵
DPF-ZA 是小型风冷型油扩散泵,DPF-Z 水冷系列同内核衍生机型;*大特征:无需外接冷却水,自带轴流风扇强制风冷,专为实验室、小型简易真空设备设计。
型号区分速记
DPF-□ZA = 空冷(Air) 小型机;
DPF-□□Z = 水冷(Water) 全规格;
DPA-R = 新款内热节能水冷扩散泵
自带风冷风扇,不需要循环冷却水、水管、水冷机组,安装部署极简;
标配一体式风冷挡油挡板,抑制油返流;
泵体内部喷嘴、锅炉结构与同规格 DPF-Z 水冷款通用,备件互通;
体积小巧、重量轻,适合移动式真空实验台;
电源标准原厂 AC100V 单相;可定制改制电压;
⚠️散热上限低于水冷机型,不适合 24h 不间断长期连续生产,适合间歇式工况。
表格
| 型号 | 进气法兰 | 排气法兰 | 抽速 (L/s) 带挡板 | 加热器功率 | 油量 | 启动时间 | 净重 | 推荐前级泵 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| DPF-2ZA | VG100 | VG40 | 58 | 330W | 50mL | 15min | 4.7kg | GHP-150B / PZ-60 |
| DPF-3ZA | VG150 | VG50 | 150 | 600W | 60mL | 18min | 6.2kg | GHP-240B / PZ-100 |
| DPF-4ZA | VG200 | VG65 | 215 | 900W | 80mL | 20min | 8.5kg | PZ-200 |
极限真空(标准油、带挡板):7.5×10⁻⁵ Pa
全负荷临界背压:20 Pa
油返流速率:7.5×10⁻⁴ mg/cm²・min
适用真空区间:0.1 Pa ~ 1×10⁻⁵ Pa
工作介质可选:
标准:NeoVac SY / 狮子 S 矿物油
耐热型:F-4 硅油
VG 法兰转 KF 异径转接接头
温度过热保护开关
外置液氮冷阱(进一步降低油返流、提升真空)
备用加热组件、风扇总成
腔体 → HV 高真空挡板阀 → DPF-ZA 扩散泵 → BV 波纹管直通阀 → GHP/PZ 前级旋片泵 粗抽支路:LCAV-25;破空阀:AV-25-M;真空监测:PT-3DA / PC-3DA 真空计
联锁控制要求(必须执行) 腔体预抽压力≤0.1Pa,方可开启扩散泵加热;停机顺序:关 HV 主阀 → 停止加热 → 泵充分冷却后再破空,防止油蒸汽倒灌污染腔体。
样品蒸发、表面处理、小型电子束实验;无冷却水条件场地**。
小腔体、间歇式生产,设备不方便铺设冷却水管。
短时工艺、每日间断运行。