简要描述：NICCA日华化学PA890 循环式研磨液
PA-890研磨效率高，防锈性好；环保型产品，降解性好，对环境污染少，与软水、磨料混合成砂浆后使用。

NICCA日华化学PA890 循环式研磨液特征

A-890的防锈性更好，能有效避免研磨盘生锈

铁屑法：

1、玻璃皿中放入一张滤纸，加入铸铁屑，再加入研磨液稀释液（5%）浸湿铁屑；

2、记录出现锈点的时间，滤纸外观拍照

研磨效率高；

•对磨料的悬浮分散性好；

•使用时低泡，且对研磨盘的防锈性好；

•环保型产品，降解性好，对环境污染少

• 磨料体系：改性胶体二氧化硅，表面做特殊官能团修饰

• pH：弱碱性，相比 PA880，化学活性更温和

• 固含量：15~25%，颗粒更细

• 核心特点：超低划伤、超高表面光洁度，去除速率略低于 PA880，选择性更好；抛光后表面 Ra 极低；抛光后清洗更容易，残留少；适合精细收尾抛光。

• 定位：精抛 / 终抛（Final Polish）

NICCA日华化学PA890 循环式研磨液工作原理

同样 CMP 化学 + 机械协同；配方降低机械切削力度，强化表面钝化控制：

1. 弱碱环境缓慢在工件表面形成极薄水合层；

2. 超细改性硅颗粒轻柔去除凸起部分，对凹陷区域形成钝化保护；

3. 优先磨掉高低起伏，不产生深层机械损伤，获得纳米级镜面。

运用场景

• 硅片终抛（单晶硅晶圆 Final Polish）

• 光学玻璃、蓝宝石、碳化硅衬底镜面精抛

• 先进封装介质层、薄膜最后的平坦精抛

• 要求极低表面粗糙度、无微划痕的精密基材