活跃于半导体制造的各个环节流程详情コンピューター、スマートフォン、家電製品、車両、医療機器など、半導体技術は日常に不可欠な多様なデバイスを支えています。半導体製造には、エッチング、洗浄、成膜、イオン注入、平坦化処理など莫大な工程が必要となりますが、これらの製造工程には、性能、信頼性、安全性、環境負荷など様々な面で厳しい要求をクリアした、最先端の製造装置やコンポーネント機器が使用されています。荏原の業界最先端の技術力が、日々微細化・高効率化する半導体製造現場をサポートしています...

用于干燥物料、化学品、电子元件等。熱による対象物の変質がなく乾燥効率が高い真空乾燥は、化学・工業製品の製造工程で広く利用されています。リチウムイオン電池材料、コイル、プリント基板・液晶パネル用ガラス基板などの電子部品、金属加工部品、金属等の材料など、様々な製品の製造工程で真空オーブンなどの真空乾燥装置が用いられます。\n荏原のドライ真空ポンプは、油や水を使用しないため対象物の汚染がなく、豊富な製品ラインナップにより小型チャンバ～大型チャンバまで様々な乾燥工程に対応可能です。"...

吸引利用从容器排气时产生的大气压吸引空气。吸引大致分为两种目的，一是将物质吸引后移动，二是从一定量的容器中提取物质。可以这样应用！・医疗器械（治疗牙齿的过程中吸引唾液的机器、吸引脂肪的机器）・被子和衣料的压缩・用于新干线和长途车辆的厕所・挤牛奶机吸附通过真空空间中所产生的和大气压的压差来进行吸附。真空吸力也称为吸盘，用于固定和运输货物。可以这样应用！・运输易受撞击的物品，例如包装鸡蛋或运输玻璃板・包装糖果时打开袋口的工作仪器气体收集使用真空泵，可以回收有害物质，如一氧化碳，碳...

真空阀门整体结构分为阀体组件、密封组件、驱动传动组件、连接组件四大模块，各模块协同工作，实现负压环境下的可靠密封与精准控制。核心结构组成•阀体：主体承压、导流结构，多采用不锈钢、铝合金材质，内壁光滑wu死角，杜绝积气、积尘，保证良好流导性能，高强度材质可承受负压冲击与温度变化。•密封组件：核心关键部件，决定阀门泄漏率与真空等级。软密封依靠橡胶圈弹性形变填充间隙，硬密封依靠金属垫片挤压形变实现零间隙密封，部分gao端阀门搭配波纹管密封，杜绝运动部件漏气。•阀瓣/挡板/球体：启闭...

真空阀门是真空系统的核心控制元件，广泛应用于半导体、光电镀膜、真空热处理、科研实验、精密仪器等领域，直接决定真空系统的密封性、稳定性和运行精度。不同于普通常压阀门，真空阀门专为低于标准大气压的负压环境设计，核心解决真空管路气流通断、流量调节、气路切换、压力平衡及系统防护等核心问题，是保障真空工艺稳定落地的关键基础部件。本文将系统讲解真空阀门的定义、分类、结构原理、核心参数、选型规则、安装维护及常见故障，为工程应用与设备运维提供全面技术参考。一、真空阀门核心定义与功能1.1基本...

LED光纤点光源是结合LED发光技术与光纤传导特性的特种光源，可将LED产生的光通过光纤精准导出，广泛应用于工业固化、精密照明、装饰亮化等场景。LED光纤点光源凭借体积小、亮度高、可控性强的特点，应用场景覆盖装饰亮化、工业制造、汽车电子等多个领域，不同场景的适配需求各有侧重：一、建筑与景观亮化这是LED点光源最主流的应用方向，可沿建筑轮廓、桥梁外立面排布，以点连成线勾勒建筑形态，还能组成像素屏实现动态灯光秀，南京青奥中心等超高层地标都采用了这类模块化点光源完成夜景打造，户外场...

有翼的真空泵涡轮分子泵是由具有涡轮叶片的转子（动翼）和定子（静翼）组成的。近年来，性能得到改善并且被广泛使用使用涡轮分子泵技术！半导体制造设备，蒸发设备，溅射设备，分析设备，蚀刻设备，加速器，FPD制造设备等涡轮分子泵的特点可以实现在大气中不能实现的高速旋转涡轮分子泵由高速旋转的动翼和保持静止的静翼组成。动翼以每秒数万次的速度旋转，由于动翼上的负荷（阻力），在大气中会破裂。因此，涡轮分子泵需要在一定程度的真空中使用，需要干泵或罗茨泵等前级泵。优点在分子流领域中，排气速度是恒定...

低温泵的结构具有清洁真空和高排气速度特点的泵低温泵是储存式真空泵，泵内设有极低温面，可以通过冷凝和吸附来捕捉气体，以实现超高真空的状态。另外，由于可以获得没有油污染的清洁真空，并且具有比其他真空泵更高的排气速度而备受瞩目。使用了低温泵的技术！半导体、液晶、光盘等电子部件、眼镜镜片、超大型腔体的排气等低温泵的特征如何在极低温下获得清洁真空？低温泵是通过在极低温面上冷凝吸附气体分子，并将所有气体分子储存在泵内的泵。该泵的主要特点是在真空容器中没有任何动作，不使用油，能获得干净的真...

罗茨泵具有显着提高排气速度的功能。当与油回转真空泵或干泵等粗抽泵组合时，在粗抽泵排气速度下降的压力范围内，使用罗茨泵可以使排气速度显著上升。使用了罗茨泵的技术!半导体工艺、真空蒸馏、真空包装、脱气、薄膜、真空冶金、低密度风洞实验、航天开发、真空含浸、真空干燥等罗茨泵的特点广泛应用于与其他泵组合使用当与油回转泵或干泵组合使用时，罗茨泵通常用于显着提高排气速度和降低极限压力。优点10KPa～0.1Pa排气速度大幅提高缺点会有回流罗茨泵的结构2个罗茨转子挤压气体壳体中的两个8字型转...

油回转真空泵是？机械泵的wang道油回转泵是一种机械泵，是一种经济性、操作性良好的泵。自1900年代初被发明以来，在获得真空的许多场合下，被作为具有代表性的泵而使用着。至今为止，由于机械加工技术和所用油的发展，取得了很大的进步。使用了油回转真空泵的技术！食品、吸板、真空炉、检漏系统、浸渍设备、镭射、涂层、化学、医疗、中央真空系统等油回转真空泵的特征油的使用实现高性能通过采用真空泵油，旋转部件能平滑的运动，真空密封性得到提高，从而实现高排气性能。此外，它是可以从大气压到高真空有...

什么是回转翼型干泵？回转翼型干泵的外观如图所示。如图所示，这种类型的泵是由转子，气缸，叶片等构成的机械真空泵。因为是无油泵，所以气缸和转子之间间隙的空气回流是不可避免的。如图所示，多叶片设计用于防止回流。尽管该泵结构简单且极限压力欠佳，但在低真空区域的抽速很大，广泛的用作为吸附和传送机器的真空源。由于叶片一直在转子处或气缸边滑动运动，因此，由于滑动引起的发热较多，必须注意冷却。由于叶片由碳基材料制成，并且叶片在滑动的同时移动。碳被磨损并粉化，产生微量的碳粉，薄膜状粘附在滑动面...

什么是摆动活塞型干泵？摆动活塞型干泵的外观如图所示。这种类型的泵是通过与偏芯旋转轴联动的活塞的往复运动来运送气体的机械式真空泵。由于该真空泵无油，所以无法避免气缸和活塞环的滑动部的空气回流。该泵结构简单，因此极限压力低，但在低真空范围内可以获得稳定的压力。另外，根据机型,也可以作为压缩机的加压源使用。此泵广泛应用于印刷电路板安装装置、真空包装机、包装材料吸附输送机、标签机、印刷油墨脱泡机、印刷机、照片制板机、丝网印刷机、脱泡机、沉浸机、烧结炉、抽吸机、汽车尾气分析机、冷媒回收...